真空脱气机的工作原理主要基于亨利定律，该定律指出气体在水中溶解度与水温和压力有关。在特定温度下，气体溶解度与压力成正比。因此，当系统产生真空时，水中的游离气体和溶解气体就会被释放出来，并通过自动排气阀排出系统。这样，脱气后的水就具有了低含气量，成为不饱和水，对气体具有高度的吸收性，从而吸收系统中的气体以达到气水平衡。¹²

此外，真空脱气机还用于去除物质中的气体，其工作原理是通过减压将物质中的气体排出，降低物质的气体含量。具体来说，真空脱气机通过真空泵的抽吸作用，将物体周围的气体抽取出来，减少物体内部的气体浓度，形成真空环境。⁴⁵

在闭合水循环系统中，真空脱气机通过将系统中的一部分液体置于真空环境下，使液体中的游离态气体及溶解态气体释出。然后，这部分已经过脱气处理的、具有吸收性的液体被注回水循环系统中，重新吸收系统中的游离态气体和溶解态气体，以达到新的气水平衡。³